Strukturen eines Halbleiter-Wafers

[Frank Fox]

Hallo liebe Mikrofreunde,

häufig zeige ich hier im Forum "belebte Objekte".
Ich möchte heute mal etwas ganz anderes zeigen und zwar die Fotos von Strukturen eines Halbleiter-Wafers.
Die Halbleitertechnik auf diesem gezeigten Wafer (ich habe noch einige verschiedene davon zu Hause liegen) ist etwa 10 Jahre alt.
Als letztes Foto zeige ich ein Übersichtsbild des Wafers. Aus diesem Wafer werden in einem späteren Arbeitsgang die "Dies" gebrochen und daraus entstehen in einem weiteren Arbeitsgang die eigentlichen Chips.

Alle Aufnahmen entstanden im Auflicht-DIK mit Hilfe meines Lomo metam P-1 + Zeiss Jena HD-Objektiven.

Viel Vergnügen beim Betrachten der Aufnahmen.


















Übersichtsbild Wafer

Herzliche Grüße Frank Fox  

[the_playstation]

Hallo Frank.
Deine Bilder gefallen mir sehr, da man nicht nur eine Schicht sieht sondern auch ein wenig die komplexen übereinander liegenden Schichten erkennen kann.

Liebe Grüße Jorrit.

[Frank Fox]

Hallo Jorrit,

vielen Dank.
Ja, auf einigen Bildern wirken die Strukturen sehr plastisch.

Herzliche Grüße
Frank

[Fahrenheit]

Lieber Frank,

vielen Dank für die interessanten Aufnahmen! Natürlich wäre nun ein Vergleich mit einem aktuellen Wafer interessant, auf dem die Strukturen deutlich kleiner sein dürften.
aber wie dran kommen ...

Herzliche Grüße
Jörg

p.s.
Ich nehme an, ich darf wieder?

[the_playstation]

Hallo Jörg.
Aktuelle ICs zu mikroskopieren ist sehr problematisch. Bei <10nm großen Abständen sind die Einzelstrukturen z.T. 5nm groß. Interessanterweise werden die Chips (wie die alten) belichtet. Nur nicht mit normalem Licht sondern sehr viel kurzwelligerem Licht. Mit einem Mikroskop, welches mit 5 bis 10nm Wellenlänge arbeitet, wäre vieleicht etwas zu sehen. Daher sind alte Wafer oder neue Wafer mit einfachen Strukturen sehr dankbare Objekte. Im normalen Mikroskopen erkennt man bei modernen ICs nur noch Gebiete, Blöcke in interferierendem Licht oder die Treiberstufen der Pins.

Liebe Grüße Jorrit.

[Frank Fox]

Hallo Jörg, hallo Jorrit,

ich habe auch noch einen aktuellen Wafer zu Hause liegen aber aus rechtlichen Gründen möchte ich dazu keine Strukturen zeigen.
Wie Jorrit auch zu recht schreibt, wird es aus fotografischer Sicht keinen Gewinn bringen..

Lieber Jörg, Du darfst natürlich ... wie immer  .

Herzliche Grüße
Frank